质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进 行精密测量和控制。质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），燃烧气体流量控制器，用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：采用主体不锈钢（316L）结构，燃烧气体流量控制器说明书，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON 、聚四氟乙烯等；适用于各种腐蚀性气体；气体流量不因温度、压力的变化而失准；高精度；重复性好；响应速度快、软启动、稳定可靠；低压降；工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）；操作使用方便，可任意位置安装；便于与计算机连接实现自动控制。 S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域；半导体制造行业的气体流量控制。
涡轮流量计的验收检验方法：
别的查验法涡轮叶轮处装有脉冲发讯器的流量计供给了检查叶轮上叶片残缺的也许性。经过观测涡轮叶轮脉冲发讯器的输出脉冲波形或经过该脉冲输出与连到叶轮轴的从动轮上脉冲发讯器脉冲输出的比较，也许可得悉叶片的残缺状况。
叶轮叶片或叶输和指示器间传动轮系中任何别的方位触发的脉冲发讯器与指示器上的脉冲发讯器相结合，韶关流量控制器，能够用来断定传动轮系的完整性。来自于指示器的低频脉冲与来自于任何方位（乃至传动轮系中）发生的高频脉冲之比应是一个与流量无关的常数。
附加在涡轮流量计上的某些体积变换设备也指示活动条件下的体积。变换设备上所记载的体积改变宜等于同一时刻周期内涡轮流量计机械指示器所记载的体积改变。
在流量计查验后的运用前期，还应进行屡次观测，直至流量计到达平稳运转、jing确计量的需求。
需求书面的查验报告时，应采用现已建标的具有社会共用计量规范天资的流量规范设备按照两边交易技术合同规则的条款、国家规范和计量检定规程需求查验。
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