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在源极和漏极之间有一个多晶硅栅极浮空在 绝缘层中，与四周无直接电气联接。这种电路以浮空栅极是否带电来表示存1或者0，浮空栅极带电后（例如负电荷） 蓝膜片，就在其下面，源极和漏极之间感应出正的导电沟道，使MOS管导通 回收nand蓝膜片晶圆，即表示存入0.若浮空栅极不带电，则不能形成导电沟道，MOS管不导通，即存入1。
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。读出方法与EPROM相同。擦除方法是在源极加正电压利用第一级浮空栅与漏极之间的隧道效应，将注入到浮空栅的负电荷吸引到源极。
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