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生产商必须平衡这些相关的因素使生产力达到最大化。更高的切割速度和更大的荷载将会加大切割切割线的拉力 整张蓝膜片晶圆回收,增加切割线断裂的风险。由于同一硅块上所有硅片是同时被切割的,只要有一条切割线断裂,所有部分切割的硅片都不得不丢弃。 然而,使用更粗更牢固的切割线也并不可取 8寸整张蓝膜片回收,这会减少每次切割所生产的硅片数量,并增加硅原料的消耗量。


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因而,电极和布线用的铝合金( Al-Si, Al-Si-Cu )等都是利用溅射法形成的。最常用的溅射法在平行平板电极间接上高频( 13.56MHz )电源,使氩气(压力为1Pa )离子化,在靶材溅射出来的原子淀积到放到另一侧电极上的基片上。为提高成膜速度, 通常利用磁场来增加离子的密度, 这种装置称为磁控溅射装置( magnetron sputter apparatus ),以高电压将通入惰性氩体游离 回收整张蓝膜片NANN,再藉由阴极电场加速吸引带正电的4004的50mm晶圆和Core 2 Duo的300mm晶圆离子,撞击在阴极处的靶材,将欲镀物打出后沉积在基板上。


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