复合式(Mixed Type)： 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，无尘室搬迁石岩，可提供局部超洁净之空气。 (1)无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，无尘室搬迁，以避免机器维修时影响了工作及品质，无尘室搬迁东莞，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
活动内容(正常呼吸条件下) 粒子粒径(微米) 刷衣服 1.5-3 跺脚(不带鞋套) 10-50 跺脚(带鞋套) 1.5-3 从口袋中掏手绢 3-10 正常呼吸 1吸烟者的呼吸(吸烟20分钟之后) 2-5 打喷嚏 5-20 磨擦手或脸 1-2 4-5人一起走动 1.5-3 正常行走 1.2-3 静坐 1-1.2 带微过滤器的洁净室区 0.01 表28说明了各种污染源，并说明这些污染源是如何提高周围环境的粒子程度的。 在污染控制领域，化妆品常常会造成问题。所以，洁净室一般不允许使用化妆品。表29说明使用各种化妆品做全面化妆时会产生的粒子数量。
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