技术参数型号 行程（mm)外部尺寸 （mm）总重(kg)承重(kg)示值误差（μm）*探测误差（μm）工作环境CM565- C500×600×5001120×1430×255013604002.2+L/3002.2湿度：
45~65%
压缩空气：
200L/min，2次元影像测量仪，
0.6~0.8Mpa
电源：220VCM585- C500×800×5001180×1720×25501520CM8106-C800×1000×6001320×1980×2750195010002.4+L/3002.4CM8156-C800×1500×6001220×2160×27002350CM10128-C1000×1200×8001560×2250×2750292015002.8+L/3002.8CM10158-C1000×1500×8001600×2450×33003620 * L表示测量长度，影像测量仪，以毫米为单位
注：1、CM系列三坐标测量机移动速度300mm/s单轴，520mm/s空间；加速度500mm/S2单轴，860mm/S2空间。
2、光栅尺分辨率0.5μm。
技术参数：
型号征程范围外形尺寸精度范围CM686-P600×800×6002005×1766×3088MPEE：0.9 + L/400 [μm]CM8106-P800×1000×6002405×1966×3088MPEP：1.0 μm起CM10128-P1000×1200×8001928×2730×3587MPETHP/τ：1.8 μm /68s标准环境温度：18 - 22 oC 供气压力：5bar 耗气量：150 NL/min
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