(4)地板：包括高架地板或防静电舒美地板。 (5)照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。 无尘车间之建筑主体构造，深圳无尘室服务，一般采用双面板夹芯彩钢板制造，深圳石岩无尘室服务，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：A.不会因温度变化与振动而发生裂痕；B.不易产生微尘粒子，无尘室服务，且很难附着粒子；C.吸湿性小；D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高
复合式(Mixed Type)： 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。 (1)无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
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