主要用于截留1---5μm粒子，效率以过滤≥1μm粒子为准。 4． 亚高效过滤器 主要作为洁净室末端过滤器，也可做为高效过滤器的预过滤器和新风系统的末级过滤，无尘室服务，提高新风的品质。滤材一般为聚丙烯纤维、玻璃纤维。主要用于截留1μm以下的粒子，效率以过滤≥0.5μm粒子为准。 5. 高效过滤器(超高效过滤器) 主要是洁净室的末端过滤器，以保证实现各级洁净度的级别。 其效率以过滤≥0.5μm粒子为准。滤材一般为超细玻璃纤维。
高中效过滤器分为三级（F7~~F9）： F7 效率 对粒径≥1.0μm，深圳石岩无尘室服务，过滤效率99＞E≥70% (对应美国标准H13) F8 效率 对粒径≥0.5μm，龙华无尘室服务，过滤效率90＞E≥75% (对应美国标准H14) F9 效率 对粒径≥0.5μm，东莞168无尘室服务，过滤效率99＞E≥90% (对应美国标准H15) 亚高效过滤器分为两级(H10、H11)： H10 效率 对粒径≥0.5μm，过滤效率99＞E≥95% (对应美国标准H15) H11 效率 对粒径≥0.5μm，过滤效率99.9＞E≥99% (对应美国标准H16)
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