大气通过各种真空密封的连接处，通过各种漏隙通道泄漏进入真空室的漏气流量QLPa·m3／s。对于确定的真空装置，漏气流量QL是个常数。漏气流量通常可通过所说的压升率，即单位时间内容器中的压强增长率Px来计算式.
当真空泵启动之后，真空系统即对被抽容器抽气。此时，真空机 双室，真空系统对容器的有效抽速若以Se表示，容器中的压力以P表示，则单位时间内系统所排出的气体流量即是SeP。容器中的压强变化率为dP/dt，容器内的气体减少量即是V dP/dt。。
这个方程称为真空系统抽气方程。式中V是被抽容器的容积，由于随着抽气时间t的增长，真空机，容器内的压力P降低，所以容器内的压强变化率dP/dt是个负值。因而V dP/dt是个负值，这表示容器内的气体减少量。放气流量Qf，渗透气流量Qs，蒸发的气流量Qz和漏气流量QL都是使容器内气体量增多的气流量。SeP则是真空系统将容器内气体抽出的气流量，所以方程中记为一SeP。
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