过滤器的过滤层捕集微粒的作用主要有5种： 1.拦截效应：当某一粒径的粒子运动到纤维表面附近时，其中心线到纤维表面的距离小于微粒半径，灰尘粒子就会被滤料纤维拦截而沉积下来。 2.惯性效应：当微粒质量较大或速度较大时，无尘室移位河源，由于惯性而碰撞在纤维表面而沉积下来。 3.扩散效应：小粒径的粒子布朗运动较强而容易碰撞到纤维表面上。 4.重力效应：微粒通过纤维层时，因重力沉降而沉积在纤维上。 5.静电效应：纤维或粒子都可能带电荷，产生吸引微粒的静电效应，而将粒子吸到纤维表面上。
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10
级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室移位坂田，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，无尘室移位，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。
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