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当SiO2膜较薄时，膜厚与时间成正比。SiO2膜变厚时，膜厚与时间的平方根成正比。因而 nand蓝膜硅片晶圆回收，要形成较厚SiO2膜 晶圆回收，需要较长的氧化时间。

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一般说来，正型胶的分辨率高 nand 晶圆回收，而负型胶具有感光度以及和下层的粘接性能好等特点。光刻工艺精细图形(分辨率 flash蓝膜片晶圆回收，清晰度)，以及与其他层的图形有多高的位置吻合精度(套刻精度)来决定，因此有良好的光刻胶，还要有好的曝光系统。

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