日常维护
仅需对仪表作周期性直观检查，检查仪表周围环境，高温气体质量流量控制器，扫除尘垢，确保不进水和其他物质，检查接线是否良好，检查仪表附近有否新装强电磁场设备或有新装电线横跨仪表。 若是测量介质容易沾污电极或在测量管壁内沉淀、结垢、应定期作清垢、清洗。
故障查找
流量计开始投运或正常投运一段时间后发现仪表工作不正常，应首先检查流量计外部情况，台州控制器，如电源是否良好、管道是否泄露或处于非满管状态、管道内是否有气泡、信号电缆是否损坏、转换器输出信号（即后位仪表输入回路）是否开路。切记盲目拆修流量计。
质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进 行精密测量和控制。质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），高温气体质量流量控制器说明书，用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON 、聚四氟乙烯等；适用于各种腐蚀性气体；气体流量不因温度、压力的变化而失准；高精度；重复性好；响应速度快、软启动、稳定可靠；低压降；工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）；操作使用方便，可任意位置安装；便于与计算机连接实现自动控制。 S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域；半导体制造行业的气体流量控制。
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