目前，国内外研磨加工主要还是采用散粒磨料在慢速研磨机上研磨。 其特点是加工精度高、 加工设备简单、投资少，气压研磨机设备，但是加工精度不稳定、 加工成本高、 效率低。超精密平面研磨当前是指被加工零件的尺寸和形状精度高于0.1μm，惠州气压研磨机设备，表面粗糙度Ra小于0.025μm，江门气压研磨机设备，又称亚微米加工，以及机床定位精度的分辨率和重复性高于0.01μm的加工技术，目前已进入纳米级精度阶段。
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