技术参数：
型号征程范围外形尺寸精度范围CM686-P600×800×6002005×1766×3088MPEE：0.9 + L/400 [μm]CM8106-P800×1000×6002405×1966×3088MPEP：1.0 μm起CM10128-P1000×1200×8001928×2730×3587MPETHP/τ：1.8 μm /68s标准环境温度：18 - 22 oC 供气压力：5bar 耗气量：150 NL/min
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