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单面研磨的工作示意图如图1所示。被加工晶片粘贴于工件盘上,研磨盘由电机带动以一恒定的转速做匀速圆周运动,工件盘与被加工晶片在受到与研磨盘之间的摩擦力作用,高效研磨机,由静止到以一恒定的角速度作匀速转动。双面研磨方式:进行高质量平行平面...


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单面研磨的工作示意图如图1所示。被加工晶片粘贴于工件盘上,研磨盘由电机带动以一恒定的转速做匀速圆周运动,工件盘与被加工晶片在受到与研磨盘之间的摩擦力作用,高效研磨机,由静止到以一恒定的角速度作匀速转动。

双面研磨方式:进行高质量平行平面研磨时使用双面研磨方式。双面研磨法能避免由夹具的粘结误差及薄片工件两面的应力差引起的变形问题。



陶瓷研磨:陶瓷研磨是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的技术。

陶瓷研磨是超精密加工中的一种重要加工方法,可用于去除加工、 结合加工和变形加工三大类[11],其优点是加工精度高,高效研磨机官网,加工材料范围广。主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面。



平面研磨可以通过单盘单面研磨或者双面研磨实现。

单面研磨方式:对于易碎的脆性材料平行薄片工件,高效研磨机公司,目前均采用单面研磨加工。因为当工件的厚度只有几十微米时,工件与研磨盘紧密接触会使加工阻力增大,从而引起薄片工件的破损。



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