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冷水机在真空镀膜工艺中的作用

  真空镀膜工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光,所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮的,如果真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真空镀膜是根据依靠蒸发体自然散射,结合差工效低光泽差。现加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,一体工业冷水机,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜,解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种,如镀钛镀锆等等。





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