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对于以硅片为基底的光伏电池来说 收购整张蓝膜片晶圆,晶体硅(c-Si)原料和切割成本在电池总成本中占据了最大的部分。光伏电池生产商可以通过在切片过程中节约硅原料来降低成本。降低截口损失可以达到这个效果,截口损失主要和切割线直径有关,是切割过程本身所产生的原料损失。提升机台产量。


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因而 整张蓝膜片,电极和布线用的铝合金( Al-Si, Al-Si-Cu )等都是利用溅射法形成的。最常用的溅射法在平行平板电极间接上高频( 13.56MHz )电源,使氩气(压力为1Pa )离子化 整张蓝膜片晶圆回收,在靶材溅射出来的原子淀积到放到另一侧电极上的基片上。为提高成膜速度, 通常利用磁场来增加离子的密度, 这种装置称为磁控溅射装置( magnetron sputter apparatus ),以高电压将通入惰性氩体游离,再藉由阴极电场加速吸引带正电的4004的50mm晶圆和Core 2 Duo的300mm晶圆离子,撞击在阴极处的靶材,将欲镀物打出后沉积在基板上。


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