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晶圆制造厂把这些多晶硅融解,再在融液里种入籽晶,然后将其慢慢拉出,以形成圆柱状的单晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成,此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段,滚磨,切片,倒角,抛光,激光刻 蓝膜片,包装后,即成为集成电路工厂的基本原料——硅晶圆片,这就是“晶圆”


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一般均加磁场方式增加电子的游离路径,可增加气体的解离率 整张蓝膜片晶圆回收,若靶材为金属,则使用DC 电场即可,若为非金属则因靶材表面累积正电荷,导致往后的正离子与之相斥而无法继续吸引正离子,所以改为RF 电场(因场的振荡频率变化太快,使正离子跟不上变化,而让RF-in 的地方呈现阴极效应)即可解决问题。


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