洁净度100级： 大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3（3.5粒/L）；大于等于5μm的尘粒数为0。无尘室搬迁。
洁净度1000级： 大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3（3.5粒/L）到小于等于35000粒/m3（35粒/L）；大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3（0.3粒/L）。
洁净度10000级： 大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/m3（35粒/L）到小于等于350000粒/m3（350粒/L）；大于等于5μm的尘粒数大于300粒/m3（0.3粒/L）到小于等于3000粒/m3（3粒/L）。
无尘车间及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级GB50073-2001 空气洁净度等级 (N) 大于或等于表中粒径的最da浓度限值 (pc/m3) 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm 1 10 2 2 100 24 10 4 3 1000 237 102 35 8 4 10000 2370 1020 352 83 5 100000 23700 10200 3520 832 29 6 1000000 237000 102000 35200 8320 293 7 352000 83200 2930 8 3520000 832000 29300 9 35200000 8320000 293000
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