复合式(Mixed Type)： 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，无尘室服务，可提供局部超洁净之空气。 (1)无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
一般地，单向流洁净室的洁净度可达到1—100级，非单向流洁净室的洁净度在1000—100，000级，混合流洁净室的洁净度局部区域可达1—100级。 四|、静压差和换气次数 为避免洁净室内的洁净度受邻室的污染，或污染邻室，洁净度不同的洁净室之间，东莞无尘室服务，或洁净室与一般房间之间要保持适当的静压差，深圳石岩无尘室服务，静压差不得小于5Pa。由于送入洁净室内的洁净送风量不同，龙华无尘室服务，则室内的洁净度也不同，根据理论计算和实践经验，
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