依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10
级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺寸在0.1um或更大下，无尘室搬迁深圳，密度不大于35颗/立方英尺）。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。
空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度，无尘室搬迁东部，通常空气中含尘浓度高则空气洁净度低，含尘浓度低则洁净度高；按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级，无尘室搬迁，就是以每立方米空气中的最da允许粒子数来确定其空气洁净度等级。 因原有的洁净标准是美国首先制定的，故其单位是英制，也是应用最为广泛的一种
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