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在源极和漏极之间有一个多晶硅栅极浮空在 绝缘层中，与四周无直接电气联接。这种电路以浮空栅极是否带电来表示存1或者0，浮空栅极带电后（例如负电荷），就在其下面 蓝膜片，源极和漏极之间感应出正的导电沟道，使MOS管导通，即表示存入0.若浮空栅极不带电，则不能形成导电沟道，MOS管不导通 回收nand蓝膜片，即存入1。
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由于利用源极加正电压擦除 nand蓝膜片回收，因此各单元的源极联在一起，这样，擦除不能按字节擦除，而是全片或者分块擦除。
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