除采取上述措施外，最重要的技术措施是： 通过相应的装置，送入足够量的、经过处理的洁净空气，以替换或稀释室内在正常工作时所产生的污染物质污染的空气；同时，带走室内的污染物质。即为空气净化的基本原理。 具体而言，洁净室内的空气净化处理就是根据房间的不同的洁净度等级要求，采用不同的方式送入经过处理的数量不等的清洁空气，同时排走相应数量的携带有在室内所产生的污染物质沾污的脏空气；依靠这样的动态平衡，使室内环境维持在所需要的空气洁净度等级。
洁净工作台：等级Class 1~100级。 洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，宝安无尘室移位，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，石岩无尘室移位，其等级为10~1000级，无尘室移位，高度在2.5米左右，覆盖面积约10M2以下，坂田无尘室移位，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。无尘车间的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。
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