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科里奥利

     科里奥利质量流量计(简称科氏力流量计)是一种利用流体在振动管中流动而产生与质量流量成正比的科里奥利力的原理来直接测量质量流量的仪表。科氏力流量计结构有多种形式,气体质量流量计说明书,一般由振动管与转换器组成。振动管(测量管道)是敏感器件,有U形、Ω形、环形、直管形及螺旋形等几种形状,也有用双管等方式,梅洲质量流量计,但基本原理相同。下面以U形管式的质量流量计为例介绍。






     气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围,MFC和MFM可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中,其典型应用有:电子工艺设备,如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射,以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器


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