FLOWMETHOD气体质量流量控制器（Mass Flow Controller 缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它在多个领域科研和生产中有着重要而广泛的应用。
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差压式
差压式质量流量计是以马格努斯效应为基础的流量计，哪里有ALICAT，实际应用中利用孔板和定量泵组合实现质量流量测量。常见的有双孔板和四孔板与定量泵组合两种结构。双孔板结构形式如图6所示，在主管道上安装结构和尺寸完全相同的两个孔板A和B，在分流管道上装置两个流向相反、流量固定为的定量泵，差压计连接在孔板A入口和孔板B出口处。
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