粗效过滤器，对≥5微米粒子，过滤效率80＞E≥20，深圳无尘室服务，初阻力≤50Pa 中效过滤器，对≥1微米粒子，过滤效率70＞E≥20，初阻力≤80Pa 高中效过滤器，对≥1微米粒子，东莞东部无尘室服务，过滤效率99＞E≥70，初阻力≤100Pa 亚高效过滤器，对≥0.5微米粒子，过滤效率E≥95，初阻力≤120Pa 高效过滤器，无尘室服务，对≥0.5微米粒子，过滤效率E≥99.99，初阻力≤220Pa 超高效过滤器，对≥0.1微米粒子，过滤效率E≥99.999，初阻力≤280Pa
要达到现代化生产所需的洁净环境，必须采用滤纸过滤器和纤维层过滤器，也就是净化技术中所用的空气过滤器。 一、 空气过滤器的分类 洁净室用空气过滤器种类较多，按结构形式分有： 1． 平板式过滤器 2． 折叠式过滤器 3． 袋式过滤器 4． 有隔板折叠形过滤器 5． 无隔板折叠形过滤器按过滤效率分类，是最为常见的方法；按国家标准GB/T14295-93《空气过滤器》及GB13554-92《高效空气过滤器》的规定，在额定风量下有： 1． 粗效过滤器 2． 中效过滤器 3． 高中效过滤器 4． 亚高效过滤器 5． 高效过滤器（超高效过滤器）
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