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一般均加磁场方式增加电子的游离路径，可增加气体的解离率，若靶材为金属 回收整张蓝膜片晶圆，则使用DC 电场即可，若为非金属则因靶材表面累积正电荷，导致往后的正离子与之相斥而无法继续吸引正离子，所以改为RF 电场（因场的振荡频率变化太快，使正离子跟不上变化，而让RF-in 的地方呈现阴极效应）即可解决问题。
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