依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10
级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室搬迁石岩，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，无尘室搬迁东莞，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。
要达到现代化生产所需的洁净环境，无尘室搬迁，必须采用滤纸过滤器和纤维层过滤器，也就是净化技术中所用的空气过滤器。 一、 空气过滤器的分类 洁净室用空气过滤器种类较多，按结构形式分有： 1． 平板式过滤器 2． 折叠式过滤器 3． 袋式过滤器 4． 有隔板折叠形过滤器 5． 无隔板折叠形过滤器按过滤效率分类，是最为常见的方法；按国家标准GB/T14295-93《空气过滤器》及GB13554-92《高效空气过滤器》的规定，在额定风量下有： 1． 粗效过滤器 2． 中效过滤器 3． 高中效过滤器 4． 亚高效过滤器 5． 高效过滤器（超高效过滤器）
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