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所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,无尘室搬迁吊装-深圳,集成电路积集度不断地增加,无尘室搬迁吊装,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,无尘室搬迁吊装-河源,所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。  无尘车间标准,洁净室标准
空气过滤器的选用与配置  1.        对于小型的净化设备,如洁净工作台、风淋室、层流罩等,由于处理的风量小,一般新风进风面采用粗效过滤器或中效过滤器,无尘室搬迁吊装-龙岗,送风末端必须选用高效过滤器或超高效过滤器;  2.        对于净化空调系统中空气过滤器的选用与配置,一般根据洁净室的空气洁净度级别和生产工艺的特殊要求,进行合理化选用与配置。  A.对于1000---10万级的洁净室净化系统,通常采用三级空气过滤形式,即粗效、中效和高效过滤器;粗效、中效一般放在空气处理装置中,且将中效过滤器放在正压段,亚高效或高效过滤器一般位于净化空调系统的末端。









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