复合式(Mixed Type)： 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。 (1)无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，无尘室移位坂田，以避免机器维修时影响了工作及品质，无尘室移位宝安，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
中效空气过滤器 由于其前面已有预过滤器截留了大粒径微粒，无尘室移位，它又可以作为一般空调系统的最后过滤器和净化空调系统中、高效过滤器的预过滤器。滤材一般为涤纶无纺布、聚丙烯纤维、玻璃纤维。 主要用于截留1—10μm悬浮微粒，效率以过滤≥1μm粒子为准。 3． 高中效过滤器 可用做一般净化程度的系统末端过滤器，也可以做为高效过滤器的中间过滤器；滤材一般为涤纶无纺布、聚丙烯纤维、玻璃纤维。
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