气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围，数字气体质量流量控制器，MFC和MFM可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中，其典型应用有：电子工艺设备，如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射，高温气体质量流量控制器，以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。
质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进 行精密测量和控制。质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），河源流量控制器，用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON 、聚四氟乙烯等；适用于各种腐蚀性气体；气体流量不因温度、压力的变化而失准；高精度；重复性好；响应速度快、软启动、稳定可靠；低压降；工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）；操作使用方便，可任意位置安装；便于与计算机连接实现自动控制。 S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域；半导体制造行业的气体流量控制。
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