粗效过滤器，对≥5微米粒子，过滤效率80＞E≥20，初阻力≤50Pa 中效过滤器，对≥1微米粒子，过滤效率70＞E≥20，初阻力≤80Pa 高中效过滤器，对≥1微米粒子，无尘室设备搬迁-坪山，过滤效率99＞E≥70，无尘室设备搬迁-宝安，初阻力≤100Pa 亚高效过滤器，对≥0.5微米粒子，过滤效率E≥95，初阻力≤120Pa 高效过滤器，对≥0.5微米粒子，无尘室设备搬迁，过滤效率E≥99.99，初阻力≤220Pa 超高效过滤器，对≥0.1微米粒子，过滤效率E≥99.999，初阻力≤280Pa
换言之，高速良好的工艺仅需最di限度的干预。这就是所有制造厂家的目标。 服务与维修人员的活动也会降低洁净室的洁净度。克服这个问题有两种办法，无尘室设备搬迁-坂田，将所有需要维修的物件全部放置到洁净室外的服务区；如果设备无法移出洁净室的话，就在洁净室内进行维修，但要将维修工作保持在最di程度。对进入洁净室的服务人员，特别是那些从洁净区之外进循序渐进洁净室的人员，都应按正确的步骤进行培训，以将污染可能降至最di。
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