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在淀积的同时导入PH3 气体 蓝膜晶圆，就形成磷硅玻璃（ PSG： phosphor silicate glass）再导入B2H6气体就形成BPSG(borro ? phosphor silicate glass)膜。这两种薄膜材料 整张NAZN蓝膜晶圆，高温下的流动性好，广泛用来作为表面平坦性好的层间绝缘膜。
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光刻胶的涂敷是用转速和旋转时间可自由设定的甩胶机来进行的。首先、用真空吸引法将基片吸在甩胶机的吸盘上，把具有一定粘度的光刻胶滴在基片的表面，然后以设定的转速和时间甩胶
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