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      流量管的一端被固定,而另一端是自由的。这一结构可看做一重物悬挂在弹簧上构成的重物/弹簧系统,气体流量控制器,一旦被施以一运动,这一重物/弹簧系统将在它的谐振频率上振动,这一谐振频率与重物的质量有关。质量流量计的流量管是通过驱动线圈和反馈电路在它的谐振频率上振动,振动管的谐振频率与振动管的结构、材料及质量有关。振动管的质量由两部分组成:振动管本身的质量和振动管中介质的质量。每一台传感器生产好后振动管本身的质量就确定了,东莞气体流量控制器,振动管中介质的质量是介质密度与振动管体积的乘积,广州气体流量控制器,而振动管的体积对每种口径的传感器来说是固定的,气体流量控制器价格,因此振动频率直接与密度有相应的关系,那么,对于确定结构和材料的传感器,介质的密度可以通过测量流量管的谐振频率获得。

       利用流量测量的一对信号检测器可获得代表谐振频率的信号,一个温度传感器的信号用于补偿温度变化而引起的流量管钢性的变化,振动周期的测量是通过测量流量管的振动周期和温度获得,介质密度的测量利用了密度与流量管振动周期的线性关系及标准的校定常数。

       科氏质量流量传感器振动管测量密度时,管道钢性、几何结构和流过流体质量共同决定了管道装置的固有频率,因而由测量的管道频率可推出流体密度。变送器用一个高频时钟来测量振动周期的时间,测量值经数字滤波,对于由操作温度导致管道钢性变化,进而引起固有频率的变化进行补偿后,用传感器密度标定系数来计算过程流体密度。




     质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进 行精密测量和控制。质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM),用于对气体的质量流量进行精密测量。  

     S49系列质量流量控制器和质量流量计特点:采用主体不锈钢(316L)结构,与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON 、聚四氟乙烯等;适用于各种腐蚀性气体;气体流量不因温度、压力的变化而失准;高精度;重复性好;响应速度快、软启动、稳定可靠;低压降;工作压力范围宽(可以在高压或真空条件下工作);操作使用方便,可任意位置安装;便于与计算机连接实现自动控制。  S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域;半导体制造行业的气体流量控制。



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