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一般均加磁场方式增加电子的游离路径,可增加气体的解离率,若靶材为金属,则使用DC 电场即可,若为非金属则因靶材表面累积正电荷 整张8寸蓝膜,导致往后的正离子与之相斥而无法继续吸引正离子,所以改为RF 电场(因场的振荡频率变化太快,使正离子跟不上变化,而让RF-in 的地方呈现阴极效应)即可解决问题。


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