研磨的工件放在工件行星轮内，上下均有研磨盘。研磨垫固定在上研磨盘和下研磨盘的表面，高效研磨机推荐，被加工晶片放在由中心齿轮和内齿圈组成的差动轮系内。研磨压力则由气缸加压上研磨盘实现。为减少研磨时晶片所受的作用力，一般使上研磨盘和下研磨盘分别以大小相等、方向相反的角速度旋转。晶片的运动由行星轮带动，同时上、下研磨盘研磨压力的作用下产生自转，高效研磨机，因此晶片的运动是行星运动和自转运动的合成运动。
修整的方法有两种：
1是采用基准平面电镀金刚石修整轮来修面，高效研磨机批发，由于电镀金刚石修整轮基本不磨损，高效研磨机直销，可得到较高的平面度。
2是通过修整机构修面后，也可获得较好的平面度，这种修整的原理与车床原理一致，研磨盘旋转，一个可前后运动的刀在刀杆的带动对研磨进行切削获得平面。
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