修整的方法有两种：
1是采用基准平面电镀金刚石修整轮来修面，由于电镀金刚石修整轮基本不磨损，可得到较高的平面度。
2是通过修整机构修面后，龙岗伟泽研磨机关，也可获得较好的平面度，这种修整的原理与车床原理一致，研磨盘旋转，宝安伟泽研磨机，一个可前后运动的刀在刀杆的带动对研磨进行切削获得平面。
单面研磨的工作示意图如图1所示。被加工晶片粘贴于工件盘上，伟泽研磨机，研磨盘由电机带动以一恒定的转速做匀速圆周运动，工件盘与被加工晶片在受到与研磨盘之间的摩擦力作用，由静止到以一恒定的角速度作匀速转动。
双面研磨方式：进行高质量平行平面研磨时使用双面研磨方式。双面研磨法能避免由夹具的粘结误差及薄片工件两面的应力差引起的变形问题。
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