单面研磨的工作示意图如图1所示。被加工晶片粘贴于工件盘上，研磨盘由电机带动以一恒定的转速做匀速圆周运动，高效研磨机公司，工件盘与被加工晶片在受到与研磨盘之间的摩擦力作用，由静止到以一恒定的角速度作匀速转动。
双面研磨方式：进行高质量平行平面研磨时使用双面研磨方式。双面研磨法能避免由夹具的粘结误差及薄片工件两面的应力差引起的变形问题。
精密超精密加工和研磨技术的现状及发展
目前，先进机械产品的制造正朝着高精度、高性能、高集成度和高可靠性的方向快速发展，高效研磨机，对许机械产品部件表面的局部平面度及全局平面度均提出了前所未有的高要求。超精密平面研磨加工作为一种超精密加工方法，能很好地适应这些高尺寸精度和低表面粗糙度产品的加工需求。无论是机械研磨、化学研磨以及全局平面化学机械抛光技术等，都需要使用高精度高刚度超精密研磨机实现高效率加工。
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