在换油过程中，应先将减速箱内部的油清除干净（用风枪吹干净内的油），再注入新油。
在使用期间，如发现油温超过80℃以上时，高效研磨机生产，应停机检查，高效研磨机，等温度降低后更换润滑油，才可以正常使用。
推荐用油：ISO.HD-460或中油HD-320润滑油。
研磨的工件放在工件行星轮内，上下均有研磨盘。研磨垫固定在上研磨盘和下研磨盘的表面，被加工晶片放在由中心齿轮和内齿圈组成的差动轮系内。研磨压力则由气缸加压上研磨盘实现。为减少研磨时晶片所受的作用力，一般使上研磨盘和下研磨盘分别以大小相等、方向相反的角速度旋转。晶片的运动由行星轮带动，同时上、下研磨盘研磨压力的作用下产生自转，因此晶片的运动是行星运动和自转运动的合成运动。
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