单面研磨的工作示意图如图1所示。被加工晶片粘贴于工件盘上，立式双面研磨机推荐，研磨盘由电机带动以一恒定的转速做匀速圆周运动，工件盘与被加工晶片在受到与研磨盘之间的摩擦力作用，立式双面研磨机供应，由静止到以一恒定的角速度作匀速转动。
双面研磨方式：进行高质量平行平面研磨时使用双面研磨方式。双面研磨法能避免由夹具的粘结误差及薄片工件两面的应力差引起的变形问题。
我国超精密研磨设备设计制造技术水平总体不高，立式双面研磨机，精密的研磨机均还严重依赖于进口，而且价钱非常昂贵。因此，加强我国的机械材料极限研磨机设计制造技术及其产业化研究，以及相关使用工艺技术研究与开发尤为迫切。研磨机用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的设备。主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面等。
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