超精密平面研磨可分为四个基本组成部分一研磨盘、研磨液、磨粒和工件。研磨盘是精密研磨加工中的模具，其面型精度对被加工件的面型精度影响非常大，深圳水扫太阳纹机厂家，模具表面形貌能在一定程度上“复制'到工件表面上。超精密研磨是超精密加工中一种重要加工方法，其优点是加工精度高，宝安水扫太阳纹机厂家，加工材料范围广。与传统研磨相比，加工效率高、加工成本低、加工精度和加工质量稳定，太阳纹机厂家，这使得超精密研磨应用得到了广泛的应用。随着研磨技术在市场上需求的加大和在精密及超精密加工中的广泛应用，研磨技术已在各大加工领域得到发展。
单面研磨的工作示意图如图1所示。被加工晶片粘贴于工件盘上，研磨盘由电机带动以一恒定的转速做匀速圆周运动，工件盘与被加工晶片在受到与研磨盘之间的摩擦力作用，由静止到以一恒定的角速度作匀速转动。
双面研磨方式：进行高质量平行平面研磨时使用双面研磨方式。双面研磨法能避免由夹具的粘结误差及薄片工件两面的应力差引起的变形问题。
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