冷水机在真空镀膜工艺中的作用
真空镀膜工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮的，如果真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真空镀膜是根据依靠蒸发体自然散射，结合差工效低光泽差。现加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，耐酸式制冷机生产，呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜，制冷机，解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种，如镀钛镀锆等等。
你中频设备必须加冷却水的，原因是它的频率高电流大。电流在导体流动时有一个集肤效应，电荷会聚集在电导有表面积，东星制冷机参数，这样使电导发热所以采用中孔管做导体中间加水冷却。
(主要是圆柱靶)为什么也要用水冷却?磁控溅射靶在发射时会产生高温会使射枪变形，所以它有一个水套来冷却射枪。同时还有一个重要原因磁控溅射可以被认为是镀膜技术中最突出的成就之一。它以溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好。
螺杆式冷水机微电脑控制
2 将运行中的各个温度点及运行时间直接显示出来.
3 自动监测冷冻水进、出水温度，东星制冷机组分类，通过微电脑自动调节压缩机运行负荷，将低能耗。
4 自动记录保存近期机组故障的报警情况及发生时间，并发出故障处理提示。
5 根据实际需要，对原有内容修正：如进出水温度，容调所处位置，机组务保护点
参数和压力等。
东星螺杆式冷水机的缺点主要有：
1、单机容量比离心式冷水机小。
2、润滑油系统比较庞大和复杂，耗油量较大。
3、要求加工精度和装配精度高。
4、部分负荷下的调节性能较差，特别是在60%以下负荷运行时，性能系数COP急剧下降，只宜在60%~100负荷范围内运行。
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