粗效过滤器，对≥5微米粒子，过滤效率80＞E≥20，初阻力≤50Pa 中效过滤器，对≥1微米粒子，过滤效率70＞E≥20，初阻力≤80Pa 高中效过滤器，对≥1微米粒子，无尘室搬迁-河源，过滤效率99＞E≥70，初阻力≤100Pa 亚高效过滤器，对≥0.5微米粒子，无尘室搬迁-宝安，过滤效率E≥95，无尘室搬迁，初阻力≤120Pa 高效过滤器，对≥0.5微米粒子，过滤效率E≥99.99，初阻力≤220Pa 超高效过滤器，无尘室搬迁-坂田，对≥0.1微米粒子，过滤效率E≥99.999，初阻力≤280Pa
13. 设备空间与管道间。 14. 门窗宜少，气密性要佳。 15. 静电、振动及噪音。 16. 生产线与活动线少交叉。 17. 公害、污染与防灾。 18. 安装及运转成本之衡量。 洁净室人员卫生与个人职责 引言 洁净室一有人员进入，其洁净室就将改变。人的外层皮肤不断地向周围环境释放粒子。之所以发生这一情况，是由于外皮细胞连续不断地被其下的新细胞所替换。服装与首饰等的磨擦，会增加外皮释放的粒子数量。由于人员在工作时，会有更多的活动，所以释放的粒子数量也相应增加。
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