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第一台实用的光伏切片机台诞生于1980年代,它源于Charles Hauser 博士前沿性的研究和工作。Charles Hauser博士是瑞士HCT切片系统的创办人,也就是现在的应用材料公司PWS精确硅片处理系统事业部的前身。

这些机台使用切割线配以研磨浆来完成切割动作。今天 回收整张8寸蓝膜晶圆,主流的用于硅锭和硅片切割的机台的基本结构仍然源于Charles Hauser 博士最初的机台 整张8寸蓝膜晶圆回收,不过在处理载荷和切割速度上已经有了显著的提高


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沉积第二层金属,并刻蚀出连线结构。然后,用 PECVD 法氧化层和氮化硅保护层。光刻和离子刻蚀定出 PAD 位置。最后进行退火处理以保证整个 Chip 的完整和连线的连接性。Wafer Probe晶圆针测工序waferballing process晶圆球状化工艺


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