气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围，国产气体质量流量控制器，MFC和MFM可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中，其典型应用有：电子工艺设备，如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射，以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。
流体的体积是流体温度和压力的函数，是一个因变量，福田流量控制器，而流体的质量是一个不随时间、空间温度、压力的变化而变化的量。如前所述，气体体质流量控制器原理，常用的流量计中，如孔板流量计、涡轮流量计、涡街流量计、电磁流量计、转子流量计、超声波流量计和椭圆齿轮流量计等的流量测量值是流体的体积流量。在科学研究、生产过程控制、质量管理、经济核算和贸易交接等活动中所涉及的流体量一般多为质量。采用上述流量计仅仅测得流体的体积流量往往不能满足人们的要求，通常还需要设法获得流体的质量流量。以前只能在测量流体的温度、压力、密度和体积等参数后，通过修正、换算和补偿等方法间接地得到流体的质量。这种测量方法，中间环节多，质量流量测量的准确度难以得到保证和提高。随着现代科学技术的发展，相继出现了一些直接测量质量流量的计量方法和装置，高压气体质量流量控制器，从而推动了流量测量技术的进步。
世界上体积zuixiao，而且精度zuigao的气体质量流量控制器，响应时40ms.精度优于1%或者0.5%可选，为响应时间最快的，精度zuiigao的气体质量流量控制器，主要应用于对于响应时间严格要求的场合。
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